حکاکی لایه نازک sio2 وsi3n4

حکاکی لایه نازک sio2 وsi3n4

حکاکی لایه نازک SiO₂

معمولاً بوسیله رقیق کردن یا Buffer کردن HF انجام می شود.

حکاکی های PSG 10 بار سریع تر از اکسید رشد یافته حرارتی می باشد.

حکاکی Anisotropic در مورد Si با استفاده از حکاکی پلاسما به کمک یون در ترکیبی از C₂ F₆ و CH₃F انجام می شود. قابلیت انتخاب روی Si خوب است، امّا روی Si₃N₄ خوب نیست .

حکاکی لایه نازک Si₃N₄

حکاکی کننده تر در دمای H₃PO_4,140 – 200OC می باشد. SiO₂ حاصل از لایه نشانی بخار شیمیایی یک ماسک حکاکی خوب است. قابلیت انتخاب روی Si خیلی خوب است.

حکاکی Anisotropic برای Si₃N₄ با استفاده از حکاکی پلاسما به کمک یون ( Ion assisted Plasma etching ) در ترکیبی از C₂F₆ و CH₃F انجام می شود.

در میکروماشینینگ سطحی

در میکرو ماشینینگ توده ای ساختارهای میکرونی به وسیله حکاکی توده ای از ویفر سیلیکون برای دستیابی به نتیجه دلخواه تشکیل می شوند. در میکروماشینینگ سطحی چندین لایه نازک روی ویفری یا هر زیر لایه مناسب دیگر قرار می گیرند. این لایه ها شامل یک ماده بنیادین مثل پلی سیلیکن و یک ماده قربانی ( Sacrifical ) مثل اکسید می باشند. این لایه ها به ترتیب لایه نشانی و حکاکی خشک می شوند. آخر سر ماده قربانی از طریق حکاکی تر حذف می شود. لایه های بیشتر و ساختارهای پیچیده تر باعث سخت شدن فرآیند ساخت می شود. یک میله سگدست میکرو ماشین شده سطحی ساده در شکل 2 – 40 نشان داده شده است. یک لایه قربانی از اکسید روی سطح ویفر لایه نشانی شده، سپس یک لایه پلی سیلیکن لایه نشانی شده و با استفاده از روش های RIE به یک میله با یک Anchor pad الگو دهی می شود. ( شکل a ). سپس به وسیله یک حکاکی تر لایه اکسید زیر میله برداشته می شود ( شکل b ). Anchor pad از زیر Pad برداشته شود، ویفر از حمام حکاکی بیرون می آید.

خرید فایل

لینک منبع :حکاکی لایه نازک sio2 وsi3n4

حکاکی لایه نازک sio2 وsi3n4 5rw4rt.abtindls.ir/‎Cachedمحقق گرامی،شما با جستجوی حکاکی لایه نازک sio2 وsi3n4 وارد این صفحه شده اید محصول دانلودی(حکاکی لایه نازک sio2 وsi3n4)شما را در رسیدن به اهدافتان یاری می رساند برترین پکیج حکاکی لایه نازک sio2 وsi3n4 – دانلود فایل – رویال دانلود royadl3nter.ir/?p=10456‎Cached4 روز پیش ... با سلام،محصول دانلودی +{{حکاکی لایه نازک sio2 وsi3n4}}+آماده ارائه به جویندگان عزیز میباشد.با کلیک روی دکمه ادامه مطلب به صفحه توضیحات کامل ... حکاکی لایه نازک sio2 وsi3n4 – فایل و مقالات www.newfilestant.ir/paper11629.html‎Cached30 ا کتبر 2016 ... دوست عزیز سلام.به سایت ما خوش آمدید دوست گرامی سلام.برای مشاهده توضیحات کامل محصول دانلودی|| حکاکی لایه نازک sio2 وsi3n4 || روی دکمه ادامه مطلب ... برترین فایل حکاکی لایه نازک sio2 وsi3n4 | نوین مقاله www.novinmgali.ir/?p=251‎Cachedبرترین فایل حکاکی لایه نازک sio2 وsi3n4. نوامبر 1st, 2016 دیدگاه‌ها خاموش. هموطنان گرامی سلام.وقت بخیر دوست گرامی سلام.برای مشاهده توضیحات کامل محصول دانلودی|| ... برترین فایل حکاکی لایه نازک sio2 وsi3n4 5i533m.radikaldl.ir/‎Cachedسلام.به وبسایت ما خوش آمدید. هموطن گرامی سلام.به صفحه ی دانلود _حکاکی لایه نازک sio2 وsi3n4_خوش امدید.امیدوارم بهره کافی را از حکاکی لایه نازک sio2 وsi3n4 ببرید برترین فایل حکاکی لایه نازک sio2 وsi3n4 12fgqs.sarvdlc.com/‎Cachedسلام.به وبسایت ما خوش آمدید. هموطن گرامی سلام.به صفحه ی دانلود _حکاکی لایه نازک sio2 وsi3n4_خوش امدید.امیدوارم بهره کافی را از حکاکی لایه نازک sio2 وsi3n4 ببرید حکاکی لایه نازک sio2 وsi3n4 | تحقیق گستر www.risearticle.ir/download/3547‎Cached26 ا کتبر 2016 ... بیننده گرامی سلام.به وب ما خوش آمدید هموطن گرامی سلام.به صفحه ی دانلود _حکاکی لایه نازک sio2 وsi3n4_خوش امدید.امیدوارم بهره کافی را از حکاکی لایه ... دانلود فایل ( حکاکی لایه نازک sio2 وsi3n4) – حریر دانلود harirdlc.ir/article/12047‎Cached16 ا کتبر 2016 ... کاربران گرامی درود بر شما.به سایت خودتان خوش آمدید به صفحه دانلود فایل(حکاکی لایه نازک sio2 وsi3n4)خوش آمدید برای دانلود به ادامه مطلب بروید. حکاکی لایه نازک sio2 وsi3n4 - ساخت وبلاگ avaibrain.aslblog.ir/post/1366‎Cached25 نوامبر 2016 ... محقق گرامی،شما با جستجوی حکاکی لایه نازک sio2 وsi3n4 وارد این صفحه شده اید محصول دانلودی(حکاکی لایه نازک sio2 وsi3n4)شما را در رسیدن به اهدافتان ... حکاکی لایه نازک sio2 وsi3n4 - سیستم همکاری در فروش فایل سِرو uni0.cero.ir/product-327559-حکاکی-لایه-نازک-sio2-وsi3n4.aspx‎Cachedحکاکی لایه نازک sio2 وsi3n4 دسته: پژوهش های دانشگاهی بازدید: 1 بار فرمت فایل: doc حجم فایل: 18 کیلوبایت تعداد صفحات فایل: 13. حکاکی لایه نازک sio2 وsi3n4 ...